| 序號 | 特征 | 4吋、5吋、6吋襯底參數(shù) | |
| 1 | 摻雜劑 |
N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus P,P+:Boron |
|
| 2 | 晶向 |
<100>,<111>,<110> |
|
| 3 | 電阻率 | 0.001～1.0～100～10000Ω?cm | |
| 4 | 電阻率均勻性 |
≤25% |
|
| 5 | 厚度 | 150～5000μm | |
| 6 | 總厚度變化 | ≤5um | |
|
7 |
局部平整度 | ≤1.5um | |
| 8 | 翹曲度/彎度 | ≤35um | |
| 9 | 氧含量 | 8.0～18.0ppma | |
| 10 | 碳含量 | ＜1.0ppma | |
| 11 | 位錯/氧化層錯 | ＜100ea/cm2 | |
| 12 | 滑移線 | NONE | |
| 13 |
表面：霧、劃傷、凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪、崩邊、沾污 |
NONE | |
| 14 | 背面：崩邊、劃傷、凹坑、裂紋 |
NONE |
|
| 15 |
表面顆粒 |
≥0.2um的≤30um ≥0.5um的≤3um ≥0.3um的≤10um
|
|
| 16 | 表面金屬 |
≤5E10 |
- 電話:13705597336
電話:13956270661 - E-mail:hsdianqi@vip.163.com
傳真：0559-4510020 - 黃山芯微電子股份有限公司
地址：安徽省黃山市祁門縣新興路449號
|
||||||||||
皖公安備34102402000141